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半導体ファブで迅速なサポートが重要な理由とは

現地サポートが半導体ファブのコスト削減につながる理由とは

半導体ファブにとっての不吉なシナリオとは、空気作動式バルブの不具合といえるのではないでしょうか。傍目には取るに足りない存在に思えるかもしれませんが、空気作動式バルブが無ければ、日々確実に動作することが求められる重要な製造装置に、化学物質を供給することは不可能といっても過言ではありません。ファブのオペレーションにおいて、流体システムの不具合や、プロセス停止が必要になるメンテナンス上の問題がもたらす影響は甚大であり、ダウンタイムの一秒ごとに多額のコストが発生することになりかねません。

このような状況によって、今日の超競争的な半導体製造環境で最重要視される要素が浮き彫りになっています。つまり、イノベーションのペース、日々の生産プロセス、不具合の発生時に必要なメンテナンスなど、 あらゆる面でスピードが極めて重要であるということです。現在、大半のファブが、最高レベルの信頼性を念頭に置いて設計・建設されているものの、それでも予定外の流体システムのメンテナンスが必要になることもあります。特に、刻々と変化する競争の激しい業界で、生産や研究開発を継続していくには、交換部品がすぐに入手できることが不可欠です。

問題が発生した際に、重要な部品を迅速に交換または追加できるかが、 金銭的な損失になるか、コスト削減になるかの分かれ目 となることがあります。競争で優位に立ち、総コストを削減するには、流体システム部品の適切なサプライヤーと連携することが不可欠です。今回のコラムでは、その理由について説明します。

現地調達

ファブのオペレーターがサプライヤーに関して一番知りたいのは、 「問題が発生したときに迅速に対応してくれるか」という点ではないでしょうか。

近場で部品を調達・納品可能なサプライヤーがいれば、
オペレーションを迅速に最適化することができます。

サプライヤーがどれくらい迅速に対応できるかは、オペレーションを行っている場所によって異なると思いますが、グローバル産業である半導体ファブのバリュー・チェーンは、特殊部品メーカー、製造装置メーカー、そして世界各地のファブと連結しています。ファブによっては、必要な流体システム部品を海外から取り寄せざるをえない場合もあるでしょう。とりわけ、 世界的な半導体不足  により、デバイス・メーカーが需要に追いつけない状況が続く昨今、わずかな時間も無駄することはできません。

バルブ、継手、ホース、フレキシブル・チューブ、レギュレーター、フィルターといった流体システム部品を現地調達できるかどうかは重要なことではありますが、とりわけ今はその重要性が増しているといえるでしょう。こうした部品を地球の裏側からではなく、近場で調達して納品できれば、生産性を迅速に最大化できます。

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サービスとサポート

グローバル規模のサプライ・チェーンは、パンデミックの影響を受け、世界中の製造現場での労働力の確保に奔走しています。他業界と同様に、半導体ファブでも、流体システムの組み立てとメンテナンスの基本に関するトレーニングを新入社員に迅速に提供する必要があります。

このようなトレーニングについて、何から手をつけたらよいか分からないという場合は、まず、流体システム部品のサプライヤーに相談してみることをお勧めします。サプライヤーが提供している トレーニング・コース で、流体システムの組み立てに関する基本を学ぶことで、安全性、信頼性、稼働率が最重要視されるアプリケーションにおける流体システムの管理に必要なスキルを身に付けることができます。

半導体製造では、ベテラン技術者であっても慎重にプロセスを踏む必要があります。ここで、特殊ガスの供給システムを例に挙げてみます。このシステムは、高純度の特殊ガスを供給源からプロセス装置に移送する役割を担っています。このような反応性の高いガスを目的の場所に移送するにあたっては、いかなるトラブルも許されません。万が一問題が発生した場合は、解決するのに専門的な知識が必要となりますが、サプライヤーによっては、現場またはバーチャルでの トラブルシューティングやサポート を行っています。

あらゆるシステムに対応する高品質な部品

半導体ファブでは、デバイス製造装置が、不具合を生じることなく、確実に動作することが求められます。しかし、施設内には他にもさまざまな流体システムがあり、全体の収益に影響する可能性があることを忘れてはなりません。

 

1. バルク・ガス輸送 7. ガス精製設備 13. ガス供給ライン
2. バルク・ガス容器 8. ガス調整設備 14. 特殊ガス・キャビネット
3. ガス容器貯蔵庫 9. バルク・ガス・サイロ 15. チラー/熱交換器
4. バルク・ガス貯蔵庫 10. バルク・ガス調整/分配室 16. バルブ・マニホールド・ボックス
5. バルク・ガス貯蔵 11. ガス・キャビネット 17. 半導体製造装置
6. バルク・ガス調整設備 12. チラー用断熱ホース 18. 除害装置

製造装置以外のアプリケーションでは、工業施設としての幅広いアプリケーションに対して確実に機能する高品質の流体システム部品を選定することで、ダウンタイムを回避し、メンテナンス、修理、オペレーションなどに関連するコストを最小限に抑えることができます。具体的な部品として、以下が挙げられます:

  • バルブ: 高性能のダイヤフラム・バルブ、ベローズ・バルブ、逆止弁などの バルブ を使用することで、さまざまなアプリケーションにおいて、設備の耐用期間にわたってメンテナンスが少なく、漏れのない精密な流体制御を実現します。
  • 継手:高品質の チューブ継手 を、重要なシステム部品と組み合わせることで、信頼性が高く漏れのないシールを形成することができます。
  • ホース/フレキシブル・チューブ:温度変化を伴うアプリケーションで 断熱ホース を使用して結露を防止し、最適なプロセス温度を維持することで、デバイスの歩留まりを高めることができます。また、高品質のPTFE、メタル、ハイブリッド、ゴムのホースを使用することで、安全性を損なうことなく、流体システムの設置スペースを最適化できます。
  • レギュレーター: 施設全体の流体システムの圧力をコントロールできるかが極めて重要です。コンパクトかつ高純度で、大流量に対応可能な ガス・レギュレーター を使用することで、生産性と安全性を実現することができます。
  • フィルター: コンパクトな超高純度用インライン・ ガス・フィルター を使用することで、貴重な実空間を占有することなく、プロセスの歩留まりに悪影響を与え得るコンタミネーションを除去することができます。

上記の部品を使用した流体システムを最適化するには、流体システムのプロフェッショナルに相談することをお勧めします。スウェージロックでは、最寄りの指定販売会社から専門スタッフをお客さまの施設に派遣するか、またはオンライン・ミーティングなどを通じて、技術サポート、システム設計に関するアドバイス、システム問題のトラブルシューティング、流体システムのトレーニング、メンテナンスやオペレーションのベスト・プラクティスに関するコンサルティングを行い、システムのパフォーマンス向上を支援します。製造装置の取り付けから基盤構築まで、また特殊ガスや化学薬品の供給からセントラル・ユーティリティー・プラント作業まで、流体システムを総合的にサポートします。

詳細について興味がございますか?お客さまのニーズや課題について、最寄りのスウェージロック指定販売会社にご相談ください。

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