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ALD20 UHP-Ventil liefert neue Möglichkeiten für die Halbleiter-Produktion

Das ALD20 UHP-Ventil verbessert die Verarbeitsungskapazitäten und die Produktivität von Halbleiter-Chip-Herstellern.

ALD20 UHP-Ventil liefert neue Möglichkeiten für die Halbleiter-Produktion

Das hochentwickelte Ventil gibt dank seiner höheren Durchflussmenge, hoher Temperaturstabilität und extremer Präzision Chip-Herstellern die Möglichkeit, mit neuen Vorprodukten zu experimentieren.

SOLON, Ohio – (Feb. 01, 2020) – Swagelok, ein führender Lösungsanbieter von Fluidsystemprodukten, Baugruppen und damit verbundenen Dienstleistungen hat die Markteinführung eines neuen ultrahochreinen UHP-Ventils für Anwendungen mit hohen Durchflussmengen angekündigt—dasALD20. Seit Einführung der Atomic Layer Deposition (ALD)-Ventiltechnologie auf dem Markt arbeitet Swagelok mit Halbleiter-Tool-Herstellern und Chip-Herstellern daran, die Leistung zu liefern, die notwendig ist, um mit den sich rasch ändernden Prozessanforderungen Schritt zu halten. Das neue ALD20-Ventil ist das neueste Ergebnis dieser Zusammenarbeit und gibt fortschrittlichen Prozessentwicklern die Flexibilität, mit Chemikalien mit niedrigem Dampfdruck zu experimentieren, die für die Wettbewerbsfähigkeit von morgen entscheidend sind.

Das zum Patent angemeldete Design des ALD20 maximiert die Effizienz des Produktionsprozesses sowie die Abscheidungskonsistenz durch die Bereitstellung von Durchflusskoeffizienten, die eine zwei- bis dreimal größere Durchflussmenge liefern als die heutigen ALD-Ventile. Es kann eine Durchflussmenge von bis zu 1,2 Cv bei gleicher Grundfläche (1,5 Zoll) wie existierende ALD-Ventile liefern und gestattet Nutzern die Durchflussmenge ohne Umrüstung der existierenden Geräte oder zusätzliche Prozessänderungen zu erhöhen. Die andere Standardausführung des ALD20-Ventils mit einer leicht größeren Breite (1,75 Zoll) kann eine Durchflussmenge von 1,7 Cv erreichen. Es sind auch individuelle einstellbare Durchflusskoeffizienten verfügbar.

Das ALD20, das für eine Spitzen-Prozesskonsistenz entwickelt wurde, kann vollkommen in einen Gasbehälter bei Temperaturen zwischen 10°C (50°C) und 200ºC (392ºF) eingetaucht werden, wodurch die Temperaturbeständigkeit und die Abscheidungsgleichmäßigkeit erhöht werden. Der Ventilkörper besteht aus Edelstahl 316L VIM-VAR oder Alloy 22—was eine bessere Korrosionsbeständigkeit gegenüber aggressiven Fluiden liefert—und weist einen hochpolierten Faltenbalg mit einer a 5 μin. Ra Oberflächenrauhigkeit auf für reinen Betrieb und langfristige Integrität.

„Das ALD20 ist eine direkte Antwort auf sich schnell entwickelnde Anforderungen in der Halbleiterbranche“, sagte Garrick Joseph, Marketingdierktor, Halbleiter, bei Swagelok. „Durch unsere Partnerschaft mit führenden Unternehmen in der Branche und die Anwendung der Fluidsystem-Anwendungsexpertise können wir mit Stolz ein Produkt liefern, das Kunden die effektive Verwendung von gasformigen Chemikalien als Vorprodukte gestattet, die zuvor eine zu hohe Herausforderung dargestellt hätten oder deren Einsatz zu teuer ist, die aber für die Entwicklung der nächsten Generation der Chip-Technologie wichtig sind.“

Das ALD 20 ist heute mit modularer Flächenmontage mit zwei oder drei Anschlüssen in geraden Konfigurationen mit Stumpfschweißende und VCR® Endanschlüssen mit Innen- und Außengewinde, sowie in Mehrfachventil-Konfigurationen verfügbar, um die Durchflussmenge in existierenden und neuen Systemen zu verbessern. Ein optischer Hochtemperatur-Stellungsmelder ist als Option erhältlich.

Weitere Informationen zu Swageloks neuem ALD20 UHP-Ventil für Anwendungen mit hohen Durchflussmengen kontaktieren Sie ein Swagelok Vertriebs- und Servicezentrum vor Ort.

Über Swagelok

Die Swagelok Company ist ein privat geführtes Unternehmen mit einem Jahresumsatz von etwa 2 Milliarden US-Dollar, dass als Entwickler und Anbieter von Fluidsystempkomponenten, Baugruppen, Schulungen und Dienstleistungen für die folgenden Industrien tätig ist: Öl und Gas, Chemie und Petrochemie, Halbleiter und Transportwesen. Swagelok hat seinen Hauptsitz in Solon, Ohio, U.S.A. und verfügt über mehr als 200 Vertriebs- und Servicezentren in 70 Ländern. Mehr als 5.500 Mitarbeiter in 20 Produktionsstätten und fünf globalen Technologiezentren sorgen für die reibungslose Betreuung unseren Kunden.