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De nouvelles possibilités pour la fabrication des semi-conducteurs avec la vanne très haute pureté ALD20

La vanne ALD20 pour applications de très haute pureté est conçue pour améliorer les capacités de traitement et la productivité des fabricants de puces semi-conductrices.

De nouvelles possibilités pour la fabrication des semi-conducteurs avec la vanne très haute pureté ALD20

Avec sa capacité de débit supérieure, sa plus grande stabilité thermique et son extrême précision, cette vanne à la technologie avancée permet aux fabricants de puces électroniques d’utiliser de nouveaux gaz précurseurs.

SOLON, Ohio – (1er février 2020) – Swagelok, l’un des principaux fournisseurs de solutions, de produits, d’assemblages et de services pour les systèmes fluides, a annoncé qu’une nouvelle vanne pour applications de très haute pureté – la vanne ALD20 – dotée d’une capacité de débit plus importante était désormais disponible. Depuis le lancement sur le marché de sa vanne pour dépôt par couche atomique (ALD), Swagelok a travaillé avec les fabricants d’outils pour le secteur des semi-conducteurs et les fabricants de puces électroniques afin de leur fournir les composants performants nécessaires pour s’adapter à l’évolution rapide des procédés de fabrication. Dernier résultat de cette collaboration, la nouvelle vanne ALD20 permet à des concepteurs avant-gardistes d’expérimenter dès aujourd’hui l’utilisation de précurseurs à faible pression de vapeur saturante – des substances qui seront peut-être indispensables demain pour conserver un avantage concurrentiel.

En attente de brevet, la vanne ALD20 maximise le rendement des procédés de fabrication et la régularité des dépôts grâce à des coefficients de débit deux à trois fois supérieurs à ceux de la vanne ALD standard utilisée actuellement. Avec un coefficient de débit (Cv) pouvant atteindre 1,2 pour un encombrement identique (1,5 po) à celui des vannes ALD actuelles, la vanne ALD20 permet à certains utilisateurs d’augmenter leurs capacités de production sans que le matériel en place ne doive être réorganisé ou que le procédé n’ait à subir des modifications supplémentaires. Avec la version standard de la valve ALD20, qui est légèrement plus large (1,75 po), le coefficient de débit (Cv) peut même atteindre 1,7. Des coefficients de débit fixés par le client sont également possibles.

Conçue pour maximiser la régularité des procédés de fabrication, la vanne ALD20 peut être complètement immergée dans une unité d’alimentation en gaz à une température pouvant aller jusqu’à 200°C (392°F), améliorant ainsi la stabilité thermique et l’uniformité des dépôts. Le corps de la vanne, fabriqué en acier inoxydable 316L VIM-VAR ou en alliage 22, offre une résistance accrue à la corrosion face à des fluides de plus en plus agressifs. Le soufflet poli jusqu’à obtenir un Ra de 0,13 µm (5 µpo) favorise une exploitation propre sur une très longue durée, contribuant ainsi à l’intégrité des procédés.

« La vanne ALD20 est une réponse directe à l’évolution rapide des besoins du secteur des semi-conducteurs », explique Joseph Garrick, directeur du marketing pour ce secteur chez Swagelok. « Grâce à un partenariat avec des leaders du secteur et à notre expertise de l’ingénierie des systèmes fluides, nous sommes heureux de lancer un produit qui permet à nos clients d’utiliser des gaz précurseurs dont l’usage était jusque-là jugé trop difficile ou trop coûteux, mais qui pourraient s’avérer indispensables au développement des nouvelles technologies de fabrication des puces électroniques. »

La vanne ALD20 est désormais disponible sous trois formes : un modèle pour montage modulaire en surface à deux ou trois orifices, une configuration droite avec raccordements à souder bout à bout ou raccords VCR® mâles ou femelles, et un modèle à orifices multiples pour optimiser l’écoulement dans des systèmes existants ou de nouveaux systèmes. Un capteur de position optique résistant aux températures élevées est également proposé en option.

Pour obtenir des renseignements supplémentaires sur la nouvelle vanne très haute pureté ALD20 et sa capacité de débit plus importante, visitez le site swagelok.com.fr/ALD20 ou prenez contact avec un point de vente et centre de services agréé Swagelok.

À propos de Swagelok

Entreprise non cotée en bourse d'une valeur d'environ 2 milliards de dollars, Swagelok conçoit des produits pour systèmes fluides, des assemblages et des services destinés aux secteurs des hydrocarbures, de la chimie et de la pétrochimie, des semiconducteurs et des transports. Les clients de la société Swagelok, dont le siège se situe à Solon dans l'Ohio, bénéficient d'un réseau de 200 points de vente et centres de services implantés dans 70 pays, qui peuvent compter sur l'expertise de 5500 collaborateurs rattachés au siège et répartis sur 20 sites de production et cinq centres technologiques dans le monde.