Клапаны с мембранным уплотнением
Наши клапаны с мембранным уплотнением выпускаются в широком диапазоне размеров, из разных материалов и в различных конфигурациях для удовлетворения требований к системам высокой и сверхвысокой степени чистоты.
Клапаны с мембранным уплотнением:
- имеют длительный срок службы и обеспечивают эффективное отсечение;
- доступны с различными вариантами исполнения привода, в том числе с ручным, пневматическим приводом и с блокировкой;
- предлагаются в широком ассортименте размеров, материалов и конфигураций.
Предлагаемые нами клапаны с мембранным уплотнением:
Вопросов? Найти центр продаж и сервисного обслуживания.
Ищете клапаны сверхвысокой степени чистоты для напыления с точностью до атомного слоя?
Клапаны для напыления с точностью до атомного слоя (ALD)
Посмотрите мембранные клапаны серии ALD3 и ALD6 и наш рекомендуемый клапан ALD20 сверхвысокой степени чистоты для напыления с точностью до атомного слоя.
Мембранные клапаны для большого объема газа (серия LD)
Мембранные клапаны серии LD для большого объема газа с коэффициентами расхода до 13 и различными конфигурациями и материалами корпуса могут применяться в широком ряде сверхчистых систем для отсечения, передачи газов в больших объемах и изоляции.
Технические характеристики
| Рабочее давление | до 300 фунтов на кв. дюйм, ман. (20,6 бара) |
| Температура | от –20 до 300 °F (от –28 до 148 °C) |
| Коэффициент расхода | до 13 |
| Материалы корпуса | нерж. сталь CF3M (литые корпуса), нерж. сталь 316L (кованные и прутковые корпуса) |
| Материал мембраны | нержавеющая сталь 316L |
| Торцевые соединения | |
| Тип | Трубный обжимной фитинг Swagelok®, фитинг с торцевым уплотнением VCR® с наружной резьбой, внутренняя резьба NPT, внутренняя резьба ISO, удлинительный патрубок |
| Размер | от 1/4 до 1 дюйма; от 12 до 25 мм |
Клапаны с мембранным уплотнением (серии DL и DS)
Мембранные клапаны серий DL и DS обеспечивают бессальниковую цельнометаллическую герметизацию для систем высокой и сверхвысокой степени чистоты с давлением до 3500 фунтов на кв. дюйм, ман. (241 бара).
Технические характеристики
| Рабочее давление | до 3500 фунтов на кв. дюйм, ман. (241 бара) |
| Температура | от –100 до 250 °F (от –73 до 121 °C) |
| Коэффициент расхода | до 0,30 |
| Материал корпуса | нержавеющая сталь 316L |
| Материал мембраны | нержавеющая сталь 316 |
| Торцевые соединения | |
| Тип | трубный обжимной фитинг Swagelok, фитинг с торцевым уплотнением VCR, фитинг с кольцевым уплотнением VCO®, соединение под приварку встык, под приварку враструб |
| Размер | 1/4, 3/8 и 1/2 дюйма; 6 и 8 мм |
Мембранные клапаны, фторполимерные сверхвысокой степени чистоты (серия DRP)
Улучшенная конструкция клапанов серии DRP, соответствующая стандарту SEMI F57-0301 для сверхчистых химических распределительных систем и оборудования, помогает сократить до минимума зоны скопления частиц и продлить срок службы мембраны.
Технические характеристики
| Номинальные параметры давления | до 100 фунтов на кв. дюйм, ман. (6,8 бара) |
| Температура рабочей среды | от 73 до 212 °F (от 23 до 100 °C) |
| Коэффициент расхода | до 10,2 |
| Материал корпуса, мембраны | Модифицир. PTFE |
| Торцевые соединения | |
| Тип | Развальцовка и мелкая резьба и стандарт Nippon Pillar Super 300®; ISO, NPT, Flowell |
| Размер | от 1/4 до 1 1/4 дюйма и от 6 до 25 мм |
| Конфигурация | 2- и 3-ходовое ручное и пневматическое отсечение; модели с регулируемым расходом и отводом |
Беспружинные мембранные клапаны для интенсивного потока (серия DF)
Мембранные клапаны серии DF предназначены для различных систем сверхвысокой степени чистоты с высоким расходом (коэффициент расхода 0,62) и предлагаются с торцевыми соединениями для интенсивного потока.
Технические характеристики
| Рабочее давление | от вакуума до 300 фунтов на кв. дюйм, ман. (20,6 бара) |
| Давление разрыва | 3200 фунтов на кв. дюйм, ман. (220 бар) |
| Давление срабатывания | от 70 до 100 фунтов на кв. дюйм, ман. (от 4,9 до 6,8 бара) |
| Температура | от –10 до 270 °F (от –23 до 132 °C) |
| Коэффициент расхода | 0,62 |
| Материалы корпуса | нержавеющая сталь 316L VAR |
| Материал мембраны | специальный сплав на основе кобальта |
| Торцевые соединения | |
| Тип | фитинг с торцевым уплотнением VCR типа «Н», фитинг с торцевым уплотнением VCR, соединение под приварку встык |
| Размер | 1/4, 3/8, 1/2 дюйма; 10 и 12 мм |
Беспружинные мембранные клапаны высокой эффективности (серия DP)
Мембранные клапаны серии DP из нержавеющей стали 316L VIM-VAR подходят для различных систем сверхвысокой степени чистоты.
Технические характеристики
| Рабочее давление | от вакуума до 3045 фунтов на кв. дюйм, ман. (210 бар) |
| Давление разрыва | до 12200 фунтов на кв. дюйм, ман. (840 бар) |
| Давление срабатывания | от 60 до 120 фунтов на кв. дюйм, ман. (от 4,2 до 8,2 бара) |
| Температура | от –10 до 300°F (от –23 до 150°C) |
| Коэффициент расхода | 0,20 и 0,27 |
| Материалы корпуса | нерж. сталь 316L VIM-VAR |
| Материал мембраны | специальный сплав на основе кобальта |
| Торцевые соединения | |
| Тип | трубный обжимной фитинг Swagelok, фитинг с торцевым уплотнением VCR, соединение под приварку встык, модульные соединения для монтажа на поверхность |
| Размер | 1/4 дюйма; 6 мм |
Беспружинные мембранные клапаны, 1,125 дюйма, для модульных газовых систем (серия DE)
Беспружинные мембранные клапаны серии DE предлагаются с различными вариантами исполнения приводов для удобства интеграции в модульную газовую систему с C-образным или W-образным уплотнением 1,125 дюйма.
Технические характеристики
| Рабочее давление | от вакуума до 125 фунтов на кв. дюйм, ман. (8,6 бара) |
| Давление разрыва | 3200 фунтов на кв. дюйм, ман. (220 бар) |
| Давление срабатывания | |
| нормально закрытый | от 60 до 120 фунтов на кв. дюйм, ман. (от 4,1 до 8,2 бара) |
| нормально открытый и | от 60 до 90 фунтов на кв. дюйм, ман. (от 4,1 до 6,2 бара) |
| нормально закрытый с ручным | |
| управлением со встроенной блокировкой | |
| Температура | От 14 до 150 °F (от –10 до 65 °C) |
| Коэффициент расхода | 0,3 |
| Материалы корпуса | нерж. сталь 316L VIM-VAR |
| Материал мембраны | специальный сплав на основе кобальта |
| Торцевые соединения | |
| Тип | модульные соединения 1,125 дюйма для монтажа на поверхность |
| Конфигурации | с 2 и 3 отверстиями |
Высокотемпературные погружные мембранные клапаны (серия DH)
Высокотемпературные погружные мембранные клапаны Swagelok обеспечивают высокую скорость срабатывания с коэффициентами расхода до 0,60 и рассчитаны на оптимальную производительность при 220 °C (428 °F) для высокотемпературных процессов, включая напыление с точностью до атомного слоя и системы доставки прекурсоров. Предлагаются модели как с пневматическим, так и с ручным приводом с различными торцевыми соединениями размером 1/4 и 3/8 дюйма.
Технические характеристики
| Рабочее давление | от вакуума до 70 фунтов на кв. дюйм, ман. (4,8 бара) |
| Давление разрыва | > 3200 фунтов на кв. дюйм, ман. (220 бар) |
| Actuation Pressure | от 60 до 90 фунтов на кв. дюйм, ман. (от 4,1 до 6,2 бара) |
| Температура | от 20 до 220 °C (от 70 до 428 °F) |
| Коэффициент расхода | |
| соединения VCR® типа «H» | 0,60 при 20 °C (70 °F) |
| 0,40 при 220 °C (428 °F) | |
| соединения VCR и все остальные соединения |
0,30 при 20 °C (70 °F) 0,21 при 220 °C (428 °F) |
| модульные соединения для монтажа на поверхность body |
0,25 при 20 °C (70 °F) 0,21 при 220 °C (428 °F) |
| Материал корпуса | нерж. сталь 316L VIM-VAR |
| Материал мембраны | специальный сплав на основе кобальта |
| Торцевые соединения | |
| Тип | фитинги с торцевым уплотнением VCR и VCR типа «H» с металлической прокладкой, соединение под приварку встык; модульное соединение для монтажа на поверхность |
| Размер |
1/4 и 3/8 дюйма 1,125 и 1,5 дюйма (модульный монтаж на поверхность) |
Есть вопросы? Найти центр продаж и сервисного обслуживания.
| Подбор изделий с учетом требований безопасности. Для того чтобы проектировщик системы и пользователь могли гарантированно выполнить подбор изделий с учетом требований безопасности, необходимо полностью проверить весь каталог продукции. При выборе изделий следует принимать во внимание всю систему в целом, чтобы обеспечить ее безопасную и бесперебойную работу. Соблюдение назначения устройств, совместимости материалов, надлежащих рабочих параметров, правильный монтаж, эксплуатация и обслуживание являются обязанностями проектировщика системы и пользователя. Внимание! Запрещается совместное использование и замена компонентов торцевых соединений трубных обжимных фитингов Swagelok с двумя обжимными кольцами (и других изделий, на производство которых не распространяются отраслевые стандарты проектирования) изделиями других производителей. |