alert icon

Данный сайт не поддерживается браузером Internet Explorer 8. Пожалуйста, обновите ваш браузер до более поздней версии или воспользуйтесь другим браузером.

Скрыть hide icon

Интенсивный поток. Высокая температура.
Высокая эффективность.

Производство полупроводников нового поколения начинается здесь.

Загрузить каталог клапанов ALD сверхвысокой степени чистоты

Клапан Swagelok ALD20 сверхвысокой степени чистоты

Создание условий для технологий будущего

semiconductor ultrahigh purity clean room

Клапан ALD20 обеспечивает надежность и эксплуатационные характеристики, которые клиенты ожидают от клапанов Swagelok сверхвысокой чистоты в системах напыления с точностью до атомно-слоевого осаждения (ALD), а также недостижимые ранее температурную стабильность и значения расхода. Это позволяет производителям экспериментировать с различными процессами и химическими составами с низким давлением пара для достижения однородного осаждения газа, необходимого для разработки современных технологий сегодня и в будущем.

Улучшенный расход. Минимальные размеры.

Новый клапан ALD20 сверхвысокой степени чистоты разработан специально для расширения границ применения клапанной технологии напыления с точностью до атомно-слоевого осаждения и обеспечивает уровень расхода в два—три раза выше по сравнению с возможностями старых клапанов ALD. Это дает производителям полупроводниковых микросхем потенциал не только улучшить выходные характеристики и повысить эффективность, но и сделать это без существенного изменения технологических процессов.

  • Клапан ALD20 способен обеспечить расход C v 1,2 при той же занимаемой площади (1,5 дюйма), что и существующие клапаны ALD, предоставляя улучшенные рабочие характеристики без необходимости переоснащения существующего оборудования.
  • Второй стандартный вариант исполнения клапана ALD20, занимающий немного больше места по ширине (1,75 дюйма), может обеспечить еще более высокий расход C V1,7 — самый высокий показатель, достижимый в настоящее время для клапанов сверхвысокой степени частоты и сверхвысокого циклического срока службы.
  • Также предлагается возможность настройки коэффициентов расхода по усмотрению клиента.

Бескомпромиссное постоянство качества

ald20 ultrahigh purity valve

Конструкция клапана ALD20 способствует стабильной работе в течение сверхвысокого циклического срока службы благодаря нескольким ключевым особенностям.

  • Весь клапан и привод полностью погружены в газовую камеру при температуре от 50 °F (10 °C) до 392 °F (200 °C), что исключает необходимость изолировать привод во время нагрева. В результате улучшается стабильность осаждения, поскольку газы с низким давлением пара находятся при температурах, способствующих оптимальному расходу.
  • Варианты исполнения корпуса из нержавеющей стали 316L VIM-VAR или сплава 22 обеспечивают повышенную стойкость к коррозии в средах с повышенной агрессивностью.
  • Cильфон с зеркальной полировкой со средней шероховатостью Ra 5 микродюймов (0,127 мкм) обеспечивает чистую работу в течение сверхвысокого циклического срока службы для обеспечения целостности технологического процесса.
  • Пневматический привод может обеспечить высокую скорость (< 10 мс) повторяемых переключений для обеспечения прецизионного стабильного расхода в  целях удовлетворения требований 

Технические характеристики

Рабочее давление от вакуума до 20 фунтов на кв. дюйм, ман. (1,4 бара)
Разрывное давление >3200 psig (220 bar)
Давление срабатывания 70 to 90 psig (4.8 to 6.2 bar)
Температура от 50 до 392 °F (от 10 до 200 °C)
Коэффициент расхода (Cv) 1,2 (модульный монтаж на поверхность) или 1,7 (прямая конфигурация)
Материалы корпуса нерж. сталь 316L VIM-VAR или сплав 22
Материал сильфона сплав 22 (средняя шероховатость Ra 5 микродюймов (0,127 мкм)
Торцевые соединения
Тип (размер) фитинг VCR® с внутренней резьбой (1/2 дюйма)
поворотный фитинг VCR с наружной резьбой (1/2 дюйма)
соединение под приварку встык, длина 0,5 дюйма (1/2 х 0,049 дюйма)
модульное соединение для монтажа на поверхность, высокий расход, C-образное уплотнение (1,5 дюйма)

Чтобы узнать подробнее, каким образом клапан ALD20 сверхвысокой степени чистоты может повысить точность и производительность в сфере производства полупроводниковых микросхем без ущерба для воспроизводимости и постоянства качества, обращайтесь в региональный центр продаж и сервисного обслуживания Swagelok.

Подбор изделий с учетом требований безопасности. Для того чтобы проектировщик системы и пользователь могли гарантированно выполнить подбор изделий с учетом требований безопасности, необходимо полностью проверить весь каталог продукции. При выборе изделий следует принимать во внимание всю систему в целом, чтобы обеспечить ее безопасную и бесперебойную работу. Соблюдение назначения устройств, совместимости материалов, надлежащих рабочих параметров, правильный монтаж, эксплуатация и обслуживание являются обязанностями проектировщика системы и пользователя.

Внимание! Запрещается совместное использование и замена компонентов торцевых соединений трубных обжимных фитингов Swagelok с двумя обжимными кольцами (и других изделий, на производство которых не распространяются отраслевые стандарты проектирования) изделиями других производителей.