Клапан Swagelok ALD20 сверхвысокой степени чистоты

Создание условий для технологий будущего

Клапан ALD20 обеспечивает надежность и эксплуатационные характеристики, которые клиенты ожидают от клапанов Swagelok сверхвысокой чистоты в системах напыления с точностью до атомно-слоевого осаждения (ALD), а также недостижимые ранее температурную стабильность и значения расхода. Это позволяет производителям экспериментировать с различными процессами и химическими составами с низким давлением пара для достижения однородного осаждения газа, необходимого для разработки современных технологий сегодня и в будущем.

Улучшенный расход. Минимальные размеры.

Новый клапан ALD20 сверхвысокой степени чистоты разработан специально для расширения границ применения клапанной технологии напыления с точностью до атомно-слоевого осаждения и обеспечивает уровень расхода в два—три раза выше по сравнению с возможностями старых клапанов ALD. Это дает производителям полупроводниковых микросхем потенциал не только улучшить выходные характеристики и повысить эффективность, но и сделать это без существенного изменения технологических процессов.

• Клапан ALD20 способен обеспечить расход C _v 1,2 при той же занимаемой площади (1,5 дюйма), что и существующие клапаны ALD, предоставляя улучшенные рабочие характеристики без необходимости переоснащения существующего оборудования.
• Второй стандартный вариант исполнения клапана ALD20, занимающий немного больше места по ширине (1,75 дюйма), может обеспечить еще более высокий расход C _V1,7 — самый высокий показатель, достижимый в настоящее время для клапанов сверхвысокой степени частоты и сверхвысокого циклического срока службы.
• Также предлагается возможность настройки коэффициентов расхода по усмотрению клиента.

Бескомпромиссное постоянство качества

Конструкция клапана ALD20 способствует стабильной работе в течение сверхвысокого циклического срока службы благодаря нескольким ключевым особенностям.

• Весь клапан и привод полностью погружены в газовую камеру при температуре от 50 °F (10 °C) до 392 °F (200 °C), что исключает необходимость изолировать привод во время нагрева. В результате улучшается стабильность осаждения, поскольку газы с низким давлением пара находятся при температурах, способствующих оптимальному расходу.
• Варианты исполнения корпуса из нержавеющей стали 316L VIM-VAR или сплава 22 обеспечивают повышенную стойкость к коррозии в средах с повышенной агрессивностью.
• Cильфон с зеркальной полировкой со средней шероховатостью R_a 5 микродюймов (0,127 мкм) обеспечивает чистую работу в течение сверхвысокого циклического срока службы для обеспечения целостности технологического процесса.
• Пневматический привод может обеспечить высокую скорость (< 10 мс) повторяемых переключений для обеспечения прецизионного стабильного расхода в  целях удовлетворения требований 

Технические характеристики

Чтобы узнать подробнее, каким образом клапан ALD20 сверхвысокой степени чистоты может повысить точность и производительность в сфере производства полупроводниковых микросхем без ущерба для воспроизводимости и постоянства качества, обращайтесь в региональный центр продаж и сервисного обслуживания Swagelok.