Клапан Swagelok ALD20 сверхвысокой степени чистоты
Создание условий для технологий будущего
Клапан ALD20 обеспечивает надежность и эксплуатационные характеристики, которые клиенты ожидают от клапанов Swagelok сверхвысокой чистоты в системах напыления с точностью до атомно-слоевого осаждения (ALD), а также недостижимые ранее температурную стабильность и значения расхода. Это позволяет производителям экспериментировать с различными процессами и химическими составами с низким давлением пара для достижения однородного осаждения газа, необходимого для разработки современных технологий сегодня и в будущем.
Улучшенный расход. Минимальные размеры.
Новый клапан ALD20 сверхвысокой степени чистоты разработан специально для расширения границ применения клапанной технологии напыления с точностью до атомно-слоевого осаждения и обеспечивает уровень расхода в два—три раза выше по сравнению с возможностями старых клапанов ALD. Это дает производителям полупроводниковых микросхем потенциал не только улучшить выходные характеристики и повысить эффективность, но и сделать это без существенного изменения технологических процессов.
- Клапан ALD20 способен обеспечить расход C v 1,2 при той же занимаемой площади (1,5 дюйма), что и существующие клапаны ALD, предоставляя улучшенные рабочие характеристики без необходимости переоснащения существующего оборудования.
- Второй стандартный вариант исполнения клапана ALD20, занимающий немного больше места по ширине (1,75 дюйма), может обеспечить еще более высокий расход C V1,7 — самый высокий показатель, достижимый в настоящее время для клапанов сверхвысокой степени частоты и сверхвысокого циклического срока службы.
- Также предлагается возможность настройки коэффициентов расхода по усмотрению клиента.
Бескомпромиссное постоянство качества
Конструкция клапана ALD20 способствует стабильной работе в течение сверхвысокого циклического срока службы благодаря нескольким ключевым особенностям.
- Весь клапан и привод полностью погружены в газовую камеру при температуре от 50 °F (10 °C) до 392 °F (200 °C), что исключает необходимость изолировать привод во время нагрева. В результате улучшается стабильность осаждения, поскольку газы с низким давлением пара находятся при температурах, способствующих оптимальному расходу.
- Варианты исполнения корпуса из нержавеющей стали 316L VIM-VAR или сплава 22 обеспечивают повышенную стойкость к коррозии в средах с повышенной агрессивностью.
- Cильфон с зеркальной полировкой со средней шероховатостью Ra 5 микродюймов (0,127 мкм) обеспечивает чистую работу в течение сверхвысокого циклического срока службы для обеспечения целостности технологического процесса.
- Пневматический привод может обеспечить высокую скорость (< 10 мс) повторяемых переключений для обеспечения прецизионного стабильного расхода в целях удовлетворения требований
Технические характеристики
Рабочее давление | от вакуума до 20 фунтов на кв. дюйм, ман. (1,4 бара) |
Разрывное давление | >3200 psig (220 bar) |
Давление срабатывания | 70 to 90 psig (4.8 to 6.2 bar) |
Температура | от 50 до 392 °F (от 10 до 200 °C) |
Коэффициент расхода (Cv) | 1,2 (модульный монтаж на поверхность) или 1,7 (прямая конфигурация) |
Материалы корпуса | нерж. сталь 316L VIM-VAR или сплав 22 |
Материал сильфона | сплав 22 (средняя шероховатость Ra 5 микродюймов (0,127 мкм) |
Торцевые соединения | |
Тип (размер) | фитинг VCR® с внутренней резьбой (1/2 дюйма) поворотный фитинг VCR с наружной резьбой (1/2 дюйма) соединение под приварку встык, длина 0,5 дюйма (1/2 х 0,049 дюйма) модульное соединение для монтажа на поверхность, высокий расход, C-образное уплотнение (1,5 дюйма) |
Чтобы узнать подробнее, каким образом клапан ALD20 сверхвысокой степени чистоты может повысить точность и производительность в сфере производства полупроводниковых микросхем без ущерба для воспроизводимости и постоянства качества, обращайтесь в региональный центр продаж и сервисного обслуживания Swagelok.
Подбор изделий с учетом требований безопасности. Для того чтобы проектировщик системы и пользователь могли гарантированно выполнить подбор изделий с учетом требований безопасности, необходимо полностью проверить весь каталог продукции. При выборе изделий следует принимать во внимание всю систему в целом, чтобы обеспечить ее безопасную и бесперебойную работу. Соблюдение назначения устройств, совместимости материалов, надлежащих рабочих параметров, правильный монтаж, эксплуатация и обслуживание являются обязанностями проектировщика системы и пользователя. Внимание! Запрещается совместное использование и замена компонентов торцевых соединений трубных обжимных фитингов Swagelok с двумя обжимными кольцами (и других изделий, на производство которых не распространяются отраслевые стандарты проектирования) изделиями других производителей. |