原子層蒸着（ALD）用バルブ
スウェージロック社は、世界で初めて開発にこぎつけたALDバルブ技術のリーディング・カンパニーとして、半導体デバイス製造アプリケーション向けのソリューションをお届けしています。
スウェージロックの超高純度用（UHP）ALDバルブの特徴：
- サイクル・ライフが非常に優れ、高速で開閉可能
- 流量係数（Cv 値） ：0.27から1.7まで
- アクチュエーター部分を含めた最高使用温度：200°C
- 超高純度用途に適した316L VIM-VARステンレス鋼製ボディ
- エンド・コネクション：集積モデル、チューブ突き合わせ溶接、VCR® メタル・ガスケット式面シール継手
- オプション：電気式インジケーター、光学式ポジション・センサーなど
超高純度用ダイヤフラム･バルブ ALD3／ALD6シリーズ
原子層蒸着（ALD）用ダイヤフラム･バルブ ALD3／ALD6シリーズは、サイクル・ライフが非常に優れ、高速で開閉可能です。最大流量係数（Cv値）は0.62で、原子層蒸着用途での性能を最適化するための各種オプション（高温モデルのアクチュエーター、インジケーター、ソレノイド・パイロット・バルブなど）を取り揃えています。
仕様
| 最高使用圧力 | 真空～1.00 MPa |
| 最高破裂圧力 | 22.0 MPa |
| アクチュエーター作動圧力範囲 | 0.35～0.62 MPa |
| 使用温度範囲 | 0～200°C |
| 流量係数（Cv値） | 0.27、0.62 |
| ボディ材質 | 316L VIM-VARステンレス鋼 |
| ダイヤフラム材質 | コバルト基超合金 |
| エンド・コネクション | |
| タイプ（サイズ） | めすVCR®面シール継手（1/4 ～1/2 インチ） おすVCR面シール継手（1/4～1/2 インチ） 集積モデル大流量用Cシール（1.125 ～1.5 インチ） |
大流量に対応した超高純度（UHP）用ALD20バルブ
Swagleok ALD製品のラインアップに、超高純度用ALD20バルブ が加わりました。特許申請中の設計によって、対応が難しい低蒸気圧のプリカーサーを使用することが可能になりました。ALD20バルブは、超高純度用ベローズを採用することでクリーンなオペレーションを実現し、既存のALDバルブに比べて大流量に対応します。
ALD20バルブは、アクチュエーター部分を含めバルブ全体をガス・ボックスに入れて使用することができます（使用温度範囲：10～200°C）。
仕様
| 使用圧力範囲 | 真空～0.14 MPa |
| 最高破裂圧力 | 22.0 MPa |
| アクチュエーター作動圧力範囲 | 0.49～0.62 MPa |
| 使用温度範囲 | 10～200°C |
| 流量係数（Cv値） | 1.2（集積モデル）または 1.7（ストレート型） |
| ボディ材質 | 316L VIM-VARステンレス鋼または合金22 |
| ベローズ材質 | 合金22（0.13 µm Ra仕上げ） |
| エンド・コネクション | |
| タイプ（サイズ） | めすVCR®面シール継手（1/2 インチ） 回転可能型おすVCR面シール継手（1/2 インチ） チューブ突き合わせ溶接、長さ：12.7 mm（1/2 インチ×肉厚1.24 mm） 集積モデル大流量用Cシール（1.5 インチ） |
ALDバルブ技術のブレイクスルー
超高純度用Swagelok ALD20バルブ
超高純度用Swagelok ALD20バルブによって、高温および大流量に対応可能となり、これまでは対応が難しかったプリカーサーも効率的に活用することができるようになります。スウェージロックは、ALD20バルブをもって、次世代のデバイス製造技術の発展に貢献します。
ALDバルブ・カタログ
ご質問がございましたら、 スウェージロック指定販売会社までお問い合わせください。
| 安全な製品の選定について：システム設計者およびユーザーは、製品カタログの内容をすべてご覧になった上で、安全な製品の選定を行ってください。安全にトラブルなく機能するよう、システム全体の設計を考慮して、製品をご選定ください。機能、材質の適合性、数値データなどを考慮し製品を選定すること、また、適切な取り付け、操作およびメンテナンスを行うのは、システム設計者およびユーザーの責任ですので、十分にご注意ください。 ⚠ 警告： スウェージロック製品、または工業設計規格に準拠していない部品（Swagelokチューブ継手エンド・コネクションを含む）は、他社製品との混用や互換は絶対に行わないでください。 |