原子層蒸着(ALD)用バルブ
スウェージロック社は、世界で初めて開発にこぎつけたALDバルブ技術のリーディング・カンパニーとして、半導体デバイス製造アプリケーション向けのソリューションをお届けしています。
スウェージロックの超高純度用(UHP)ALDバルブの特徴:
- サイクル・ライフが非常に優れ、高速で開閉可能
- 流量係数(Cv 値) :0.27から1.7まで
- アクチュエーター部分を含めた最高使用温度:200°C
- 超高純度用途に適した316L VIM-VARステンレス鋼製ボディ
- エンド・コネクション:集積モデル、チューブ突き合わせ溶接、VCR® メタル・ガスケット式面シール継手
- オプション:電気式インジケーター、光学式ポジション・センサーなど
超高純度用ダイヤフラム・バルブ ALD3/ALD6シリーズ
原子層蒸着(ALD)用ダイヤフラム・バルブ ALD3/ALD6シリーズは、サイクル・ライフが非常に優れ、高速で開閉可能です。最大流量係数(Cv値)は0.62で、原子層蒸着用途での性能を最適化するための各種オプション(高温モデルのアクチュエーター、インジケーター、ソレノイド・パイロット・バルブなど)を取り揃えています。
仕様
最高使用圧力 | 真空~1.00 MPa |
最高破裂圧力 | 22.0 MPa |
アクチュエーター作動圧力範囲 | 0.35~0.62 MPa |
使用温度範囲 | 0~200°C |
流量係数(Cv値) | 0.27、0.62 |
ボディ材質 | 316L VIM-VARステンレス鋼 |
ダイヤフラム材質 | コバルト基超合金 |
エンド・コネクション | |
タイプ(サイズ) | めすVCR®面シール継手(1/4 ~1/2 インチ) おすVCR面シール継手(1/4~1/2 インチ) 集積モデル大流量用Cシール(1.125 ~1.5 インチ) |
大流量に対応した超高純度(UHP)用ALD20バルブ
Swagleok ALD製品のラインアップに、超高純度用ALD20バルブ が加わりました。特許申請中の設計によって、対応が難しい低蒸気圧のプリカーサーを使用することが可能になりました。ALD20バルブは、超高純度用ベローズを採用することでクリーンなオペレーションを実現し、既存のALDバルブに比べて大流量に対応します。
ALD20バルブは、アクチュエーター部分を含めバルブ全体をガス・ボックスに入れて使用することができます(使用温度範囲:10~200°C)。
仕様
使用圧力範囲 | 真空~0.14 MPa |
最高破裂圧力 | 22.0 MPa |
アクチュエーター作動圧力範囲 | 0.49~0.62 MPa |
使用温度範囲 | 10~200°C |
流量係数(Cv値) | 1.2(集積モデル)または 1.7(ストレート型) |
ボディ材質 | 316L VIM-VARステンレス鋼または合金22 |
ベローズ材質 | 合金22(0.13 µm Ra仕上げ) |
エンド・コネクション | |
タイプ(サイズ) | めすVCR®面シール継手(1/2 インチ) 回転可能型おすVCR面シール継手(1/2 インチ) チューブ突き合わせ溶接、長さ:12.7 mm(1/2 インチ×肉厚1.24 mm) 集積モデル大流量用Cシール(1.5 インチ) |
ALDバルブ技術のブレイクスルー
ご質問がございましたら、 スウェージロック指定販売会社までお問い合わせください。
安全な製品の選定について:システム設計者およびユーザーは、製品カタログの内容をすべてご覧になった上で、安全な製品の選定を行ってください。安全にトラブルなく機能するよう、システム全体の設計を考慮して、製品をご選定ください。機能、材質の適合性、数値データなどを考慮し製品を選定すること、また、適切な取り付け、操作およびメンテナンスを行うのは、システム設計者およびユーザーの責任ですので、十分にご注意ください。 ⚠ 警告: スウェージロック製品、または工業設計規格に準拠していない部品(Swagelokチューブ継手エンド・コネクションを含む)は、他社製品との混用や互換は絶対に行わないでください。 |