alert icon

Internet Explorer 8および9は、本ウェブサイトの動作確認環境の対象外となります。 Internet Explorerのアップデートを行っていただくか、その他のブラウザを使用してください。

メッセージを閉じる hide icon

原子層蒸着(ALD)用バルブ

原子層堆積バルブ

スウェージロック社は、世界で初めて開発にこぎつけたALDバルブ技術のリーディング・カンパニーとして、半導体デバイス製造アプリケーション向けのソリューションをお届けしています。
スウェージロックの超高純度用(UHP)ALDバルブの特徴:

  • サイクル・ライフが非常に優れ、高速で開閉可能
  • 流量係数(Cv 値) :0.27から1.7まで
  • アクチュエーター部分を含めた最高使用温度:200°C
  • 超高純度用途に適した316L VIM-VARステンレス鋼製ボディ
  • エンド・コネクション:集積モデル、チューブ突き合わせ溶接、VCR® メタル・ガスケット式面シール継手
  • オプション:電気式インジケーター、光学式ポジション・センサーなど

ALDバルブを探す

超高純度用ダイヤフラム・バルブ ALD3/ALD6シリーズ

ALD3/ALD6シリーズ・カタログ

原子層蒸着(ALD)用ダイヤフラム・バルブ ALD3/ALD6シリーズは、サイクル・ライフが非常に優れ、高速で開閉可能です。最大流量係数(Cv値)は0.62で、原子層蒸着用途での性能を最適化するための各種オプション(高温モデルのアクチュエーター、インジケーター、ソレノイド・パイロット・バルブなど)を取り揃えています。

仕様

最高使用圧力 真空~1.00 MPa
最高破裂圧力 22.0 MPa
アクチュエーター作動圧力範囲 0.35~0.62 MPa
使用温度範囲 0~200°C
流量係数(Cv値) 0.27、0.62
ボディ材質 316L VIM-VARステンレス鋼
ダイヤフラム材質 コバルト基超合金
エンド・コネクション
タイプ(サイズ) めすVCR®面シール継手(1/4 ~1/2 インチ)
おすVCR面シール継手(1/4~1/2 インチ)
集積モデル大流量用Cシール(1.125 ~1.5 インチ)

大流量に対応した超高純度(UHP)用ALD20バルブ

ALD20カタログ

Swagleok ALD製品のラインアップに、超高純度用ALD20バルブ が加わりました。特許申請中の設計によって、対応が難しい低蒸気圧のプリカーサーを使用することが可能になりました。ALD20バルブは、超高純度用ベローズを採用することでクリーンなオペレーションを実現し、既存のALDバルブに比べて大流量に対応します。

ALD20バルブは、アクチュエーター部分を含めバルブ全体をガス・ボックスに入れて使用することができます(使用温度範囲:10~200°C)。

仕様

使用圧力範囲 真空~0.14 MPa
最高破裂圧力 22.0 MPa
アクチュエーター作動圧力範囲 0.49~0.62 MPa
使用温度範囲 10~200°C
流量係数(Cv値) 1.2(集積モデル)または
1.7(ストレート型)
ボディ材質 316L VIM-VARステンレス鋼または合金22
ベローズ材質 合金22(0.13 µm Ra仕上げ)
エンド・コネクション
タイプ(サイズ) めすVCR®面シール継手(1/2 インチ)
回転可能型おすVCR面シール継手(1/2 インチ)
チューブ突き合わせ溶接、長さ:12.7 mm(1/2 インチ×肉厚1.24 mm)
集積モデル大流量用Cシール(1.5 インチ)

ALDバルブ技術のブレイクスルー

ALDバルブ・カタログ

 

ご質問がございましたら、  スウェージロック指定販売会社までお問い合わせください。

安全な製品の選定について:システム設計者およびユーザーは、製品カタログの内容をすべてご覧になった上で、安全な製品の選定を行ってください。安全にトラブルなく機能するよう、システム全体の設計を考慮して、製品をご選定ください。機能、材質の適合性、数値データなどを考慮し製品を選定すること、また、適切な取り付け、操作およびメンテナンスを行うのは、システム設計者およびユーザーの責任ですので、十分にご注意ください。

⚠ 警告: スウェージロック製品、または工業設計規格に準拠していない部品(Swagelokチューブ継手エンド・コネクションを含む)は、他社製品との混用や互換は絶対に行わないでください。