原子層蒸着（ALD）用バルブ

スウェージロック社は、世界で初めて開発にこぎつけたALDバルブ技術のリーディング・カンパニーとして、半導体デバイス製造アプリケーション向けのソリューションをお届けしています。
スウェージロックの超高純度用（UHP）ALDバルブの特徴：

• サイクル・ライフが非常に優れ、高速で開閉可能
• 流量係数（C_v 値） ：0.27から1.7まで
• アクチュエーター部分を含めた最高使用温度：200°C
• 超高純度用途に適した316L VIM-VARステンレス鋼製ボディ
• エンド・コネクション：集積モデル、チューブ突き合わせ溶接、VCR^® メタル・ガスケット式面シール継手
• オプション：電気式インジケーター、光学式ポジション・センサーなど

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超高純度用ダイヤフラム･バルブ　ALD3／ALD6シリーズ

ALD3／ALD6シリーズ・カタログ

原子層蒸着（ALD）用ダイヤフラム･バルブ　ALD3／ALD6シリーズは、サイクル・ライフが非常に優れ、高速で開閉可能です。最大流量係数（Cv値）は0.62で、原子層蒸着用途での性能を最適化するための各種オプション（高温モデルのアクチュエーター、インジケーター、ソレノイド・パイロット・バルブなど）を取り揃えています。

仕様

大流量に対応した超高純度（UHP）用ALD20バルブ

ALD20カタログ

Swagleok ALD製品のラインアップに、超高純度用ALD20バルブ が加わりました。特許申請中の設計によって、対応が難しい低蒸気圧のプリカーサーを使用することが可能になりました。ALD20バルブは、超高純度用ベローズを採用することでクリーンなオペレーションを実現し、既存のALDバルブに比べて大流量に対応します。

ALD20バルブは、アクチュエーター部分を含めバルブ全体をガス・ボックスに入れて使用することができます（使用温度範囲：10～200°C）。

仕様