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Válvulas de Deposición de Capas Atómicas (ALD)

válvulas de deposición de capa atómica

Swagelok es un líder técnico global y proveedor de soluciones para aplicaciones de fabricación de semiconductores, así como el creador de la tecnología de válvulas ALD. Características de nuestras válvulas ALD de ultra alta pureza (UHP):

  • Vida de ciclo ultra alto con actuación de alta velocidad
  • Cv de 0,27 a 1,7
  • Inmersión total hasta 200°C (392°F) con actuadores térmicos
  • Adecuadas para aplicaciones UHP con cuerpo de acero inoxidable 316L VIM-VAR estándar
  • Conexiones finales para montaje modular superficial, soldadura de tubo a tope y VCR®.
  • Opción de sensor de la posición del actuador electrónico u óptico

COMPRAR VÁLVULAS ALD

Válvulas de Diafragma ALD3 y ALD6 UHP

Catálogo ALD3 y ALD6

Las válvulas de diafragma ALD tienen una vida de servicio ultra larga, alta velocidad de actuación y coeficientes de caudal de hasta 0,62, así como actuadores térmicos, sensores de posición y solenoides que optimizan el rendimiento en las aplicaciones de deposición de capas atómicas.

Especificaciones

Presión de Servicio Vacío a 10,0 bar (145 psig)
Presión de Rotura 220 bar (3200 psig)
Presión de Actuación 3,5 a 6,2 bar (50 a 90 psig)
Temperatura 0° a 200°C (32° a 392°F )
Coeficiente de Caudal (Cv) 0,27 o 0,62
Materiales del Cuerpo Acero inoxidable 316L VIM-VAR
Material del Diafragma Aleación con base de cobalto
Conexiones finales
Tipo (Tamaño) Accesorio de cierre frontal VCR® hembra (1/4 pulg. a 1/2 pulg.)
Accesorio de cierre frontal VCR macho (1/4 pulg. a 1/2 pulg.
Montaje modular superficial de alto caudal con junta C (1,125 pulg. a 1,5 pulg.)

La válvula ALD20 UHP para Aplicaciones de Alto Caudal

Catálogo ALD20

La válvula ALD20 UHP es la última incorporación a la familia de productos ALD Swagelok. El diseño patentado permite la utilización de precursores difíciles a baja presión de vapor. La ALD20 cuenta con un fuelle de ultra alta pureza para promover una operación limpia y una mayor capacidad de caudal que otras válvulas ALD.

Además, la válvula ALD20 puede sumergirse completamente en la caja de gas y calentarse desde 10°C (50°F) hasta 200°C (392°F).

Especificaciones

Presión de Servicio Vacío a 1,4 bar (20 psig)
Presión de Rotura >220 bar (3200 psig)
Presión de Actuación 4,8 a 6,2 bar (70 a 90 psig)
Temperatura 10° a 200°C (50° a 392°F )
Coeficiente de caudal (Cv) 1,2 (MSM) o 1,7 (modelo recto)
Materiales del Cuerpo Aleación 316L VIM-VAR o Aleación 22
Material del fuelle Aleación 22 (Acabado superficial de 5 μpulg. Ra
Conexiones finales
Tipo (Tamaño) Accesorio VCR® hembra (1/2 pulg.)
Accesorio VCR macho giratorio (1/2 pulg.)
Soldadura de tubo a tope, 0,50 pulg. de largo (1/2 pulg. x 0,049 pulg.)
Montaje modular superficial de alto caudal con junta C (1,5 pulg.)

Superar los límites de la tecnología ALD

Descargar el catálogo de la válvula de ultra alta pureza ALD

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Selección fiable de un producto: El diseñador y usuario del sistema deben revisar la documentación técnica para asegurar una correcta selección de producto. Al seleccionar un producto, habrá que tener en cuenta el diseño global del sistema para conseguir un servicio seguro y sin problemas. El diseñador de la instalación y el usuario son los responsables de la función del componente, de la compatibilidad de los materiales, de los rangos de operación apropiados, así como de la operación y mantenimiento del mismo.

⚠ Advertencia: No mezcle ni intercambie productos, componentes o conexiones finales de los racores Swagelok con los de otros fabricantes si no están regulados por normativas de diseño industrial.