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Hoher Durchfluss. Hohe Temperaturen.
Hohe Leistung

Die nächste Generation der Halbleiterherstellung beginnt hier.

Herunterladen des Kataloge für ultrahochreine ALD-Ventile

Zukünftige Entwicklung unterstützen

semiconductor ultrahigh purity clean room

Das ALD20 liefert die Zuverlässigkeit und Leistung, die Kunden von Swageloks ulatrhochreinen Atomschichtsedimentierungs- (Atomic Layer Deposition - ALD) Ventilen erwarten und eröffnet Temperatur-Stabilitäts- und Durchfluss-Möglichkeiten, die zuvor unerreichbar waren. Damit können Hersteller mit unterschiedlichen Prozessen und Stoffen mit geringem Dampfdruck experimentieren, um die gleichmäßige Gassedimentierung zu erhalten, die notwendig ist, um heute und auch in der Zukunft fortschrittliche Technologien zu entwickeln.

Verbesserter Durchfluss. Minimierte Aufstellfläche.

Das neue ALD20 UHP-Ventil wurde insbesondere dazu entwickelt, die Grenzen der ALD-Ventiltechnologie zu erweitern und Durchflussmengen zu erreichen, die zwei- oder dreimal höher sind als die Mengen, die mit den heutigen Standard-ALD-Ventilen erreicht werden können. Damit haben Halbleiter-Chip-Hersteller das Potenzial, nicht nur die Produktion zu erhöhen, sondern auch die Effizienz zu verbessern ohne dafür ihre Prozesse wesentlich ändern zu müssen.

  • Das ALD20 kann Durchflussraten von 1,2 C bei der gleichen Aufstellfläche (1,5 Zoll) wie existierende ALD-Ventile liefern und die Leistung verbessern, ohne existierende Maschinen verändern zu müssen.
  • Eine zweite ALD20-Ventilvariante mit einer leicht größeren Aufstellfläche (1,75 Zoll) erreicht sogar eine noch höhere Durchflussrate, 1,7 C—die derzeit höchste verfügbare Durchflussrate von einem ultrahochreinen UHP-Ventil.
  • Es sind auch individuelle - einstellbare Durchflusskoeffizienten verfügbar.

Kompromisslose Konsistenz

ald20 ultrahigh purity valve

Das Design des ALD20-Ventils fördert konsistenten Betrieb über einen ultrahohen Lebenszyklus dank einiger wichtiger Eigenschaften:

  • Das gesamte Ventil und der Steuerkopf können vollkommen in einen Gasblock bei Temperaturen zwischen 10° C (50°F) und 200°C (392°F) eingetaucht werden, wodurch der Steuerkopf beim Erhitzen nicht isoliert werden muss. Dadurch verbessert sich die Sedimentierungskonsistenz und Gase mit einem geringen Dampfdruck werden bei Temperaturen gehalten, die einen optimalen Durchfluss begünstigen.
  • Edelstahl 316L VIM-VAR oder Alloy 22 Körperwerkstoffe liefern verbesserten Korrosionswiederstand gegen aggressive Fluide.
  • Ein hochpolierter Faltenbalg mit einer 5 μin. Ra -Oberflächengüte unterstützt sauberen Betrieb im Verlauf eines ultrahohen Lebenszyklus, was die Prozessintegrität erhöht.
  • Ein pneumatischer Steuerkopf kann hohe Geschwindigkeiten (<10 ms), wiederholbare Betätigung und konsistenten Durchfluss liefern, um die Dosierungsanforderungen zu erfüllen.

Technische Daten

Arbeitsdruck Vakuum bis 1,4 bar (20 psig)
Burst Pressure >3200 psig (220 bar)
Actuation Pressure 70 to 90 psig (4.8 to 6.2 bar)
Temperatur 10° bis 200°C (50° bis 392°F)
Durchflusskoeffizient (Cv) 1,2 (MSM) oder 1,7 (gerade Ausführung)
Körperwerkstoffe Edelstahl 316L VIM-VAR oder Alloy 22
Faltenbalg-Werkstoff Alloy 22 (5 μin. Ra Oberflächengüte)
Endanschlüsse
Typ (Größe) VCR-Innengewinde(1/2 Zoll)
Drehbares VCR-Außengewinde (1/2 Zoll)
Rohrstumpfschweißende, 0,50 Zoll lang (1/2 Zoll x 0,049 Zoll)
Modulare Flächenmontage mit C-Dichtung (1,5 Zoll) für hohem Durchfluss

Kontaktieren Sie Ihr autorisiertes Swagelok Vertriebs- und Servicezentrum, um mehr darüber zu erfahren, wie das ALD20 UHP-Ventil dabei helfen kann die Präzision und Leistung bei der Halbleiter-Chip-Herstellung zu verbessern, ohne die Konsistenz und Zuverlässigkeit zu beeinträchtigen.

Sichere Produktauswahl:
Der Kataloginhalt muss ganz durchgelesen werden, um sicherzustellen, dass der Systementwickler und der Benutzer eine sichere Produktauswahl treffen. Bei der Auswahl von Produkten muss die gesamte Systemanordnung berücksichtigt werden, um eine sichere, störungsfreie Funktion zu gewährleisten. Der Systemdesigner und der Benutzer sind für Funktion, Materialverträglichkeit, entsprechende Leistungsdaten und Einsatzgrenzen sowie für die vorschriftsmäßige Handhabung, den Betrieb und die Wartung verantwortlich.

Achtung: Zwei-Klemmring Rohrverschraubungs-Endanschluss-Bauteile (oder andere Produkte, die nicht der Industriedesign-Norm entsprechen) nicht mit Bauteilen anderer Hersteller vermischen/austauschen.